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沪龙两地联袂布局

大面积平板PECVD高端装备项目投入运行

丽水网 - 来源: 龙泉新闻网   发布时间:2021-01-15 08:55
编辑:王沁芳 | 责任编辑:叶捷

  长三角一体化发展,龙泉迈出新步伐。1月7日,总投资超5亿元的大面积平板PECVD高端装备项目在上海市松江区的上海—龙泉“飞地”首次投入运行,标志着未来已来科技集团填补了我国大面积非晶硅高端制造装备领域的空白,打破了国外同类产品长期垄断的局面,对加快我国半导体产业发展具有里程碑式的意义。

  在项目放电运行现场,未来已来科技集团负责人马玉军向大家介绍了项目相关情况。据了解,该集团研发的团簇型PECVD高端装备广泛应用于芯片制造、OLED柔性屏、高效光伏电池、高精雷达、激光武器等泛半导体产业,此前我国只能采取进口方式购买此类设备。在中美贸易摩擦大背景下,美方严格管制出口中国关键半导体设备,集团历经上千个日夜攻坚克难,完全掌握了团簇型PECVD高端装备的核心技术和知识产权,项目投产后将有助于我国半导体产业的转型升级。

  近年来,龙泉市携手发达地区协作区域发展“飞地经济”,实现跨区域资源的互补互换。大面积平板PECVD高端装备项目运行后,将按照“研发在沪、生产在龙、总部在龙”的定位,利用上海的人才优势和平台优势,发挥浙江龙泉经济开发区的土地空间优势和扶持政策优势,加快在龙泉实现产业化落地,带动龙泉市高端制造产业不断发展壮大。

  (来源:龙泉新闻网 记者  杨震山  季子恒)

 

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